ಪಾಲಿಸಿಲಿಕಾನ್ ಗುರಿ ಎಂದರೇನು

ಪಾಲಿಸಿಲಿಕಾನ್ ಒಂದು ಪ್ರಮುಖ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ.SiO2 ಮತ್ತು ಇತರ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ವಿಧಾನವನ್ನು ಬಳಸುವುದರಿಂದ ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್ ವಸ್ತುವು ಉತ್ತಮ ಆಪ್ಟಿಕಲ್, ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಟಚ್ ಸ್ಕ್ರೀನ್, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮತ್ತು ಇತರ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಉದ್ದವಾದ ಹರಳುಗಳನ್ನು ಬಿತ್ತರಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಇಂಗೋಟ್ ಕುಲುಮೆಯ ಬಿಸಿ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ಹೀಟರ್‌ನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ನಿರೋಧನ ವಸ್ತುಗಳ ಶಾಖದ ಹರಡುವಿಕೆಯನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಮೂಲಕ ಕ್ರಮೇಣ ಕೆಳಗಿನಿಂದ ಮೇಲಕ್ಕೆ ದ್ರವ ಸಿಲಿಕಾನ್ನ ದಿಕ್ಕಿನ ಘನೀಕರಣವನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳುವುದು. ಘನೀಕರಣ ದೀರ್ಘ ಹರಳುಗಳ ವೇಗ 0.8~1.2cm/h.ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ದಿಕ್ಕಿನ ಘನೀಕರಣದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ವಸ್ತುಗಳಲ್ಲಿ ಲೋಹದ ಅಂಶಗಳ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಬಹುದು, ಹೆಚ್ಚಿನ ಲೋಹದ ಅಂಶಗಳನ್ನು ಶುದ್ಧೀಕರಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಏಕರೂಪದ ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಧಾನ್ಯ ರಚನೆಯನ್ನು ರಚಿಸಬಹುದು.

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕರಗುವಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಸ್ವೀಕಾರಕ ಕಲ್ಮಶಗಳ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುವ ಸಲುವಾಗಿ, ಎರಕಹೊಯ್ದ ಪಾಲಿಸಿಲಿಕಾನ್ ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಉದ್ದೇಶಪೂರ್ವಕವಾಗಿ ಡೋಪ್ ಮಾಡಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ.ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ p-ಟೈಪ್ ಎರಕಹೊಯ್ದ ಪಾಲಿಸಿಲಿಕಾನ್‌ನ ಮುಖ್ಯ ಡೋಪಾಂಟ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬೋರಾನ್ ಮಾಸ್ಟರ್ ಮಿಶ್ರಲೋಹವಾಗಿದೆ, ಇದರಲ್ಲಿ ಬೋರಾನ್ ಅಂಶವು ಸುಮಾರು 0.025% ಆಗಿದೆ.ಡೋಪಿಂಗ್ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಗುರಿ ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆಯಿಂದ ನಿರ್ಧರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಸೂಕ್ತ ನಿರೋಧಕತೆಯು 0.02 ~ 0.05 Ω • cm, ಮತ್ತು ಅನುಗುಣವಾದ ಬೋರಾನ್ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಸುಮಾರು 2 × 1014cm-3。 ಆದಾಗ್ಯೂ, ಸಿಲಿಕಾನ್‌ನಲ್ಲಿನ ಬೋರಾನ್‌ನ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯ ಗುಣಾಂಕವು 0.8 ಆಗಿದೆ, ಇದು ದಿಕ್ಕಿನ ಘನೀಕರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ. ಬೋರಾನ್ ಅಂಶವು ಇಂಗೋಟ್‌ನ ಲಂಬವಾದ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಗ್ರೇಡಿಯಂಟ್‌ನಲ್ಲಿ ವಿತರಿಸಲ್ಪಡುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆಯು ಇಂಗೋಟ್‌ನ ಕೆಳಗಿನಿಂದ ಮೇಲಕ್ಕೆ ಕ್ರಮೇಣ ಕಡಿಮೆಯಾಗುತ್ತದೆ.