ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಕೋಟಿಂಗ್ ಗುರಿಗಳ ವಿಧಗಳು

ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಕೋಟಿಂಗ್ ಗುರಿಗಳ ಬಗ್ಗೆ ನಿಮಗೆ ಸ್ಪಷ್ಟವಾಗಿದೆಯೇ?ಈಗ ನಿಮ್ಮೊಂದಿಗೆ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿಯ ಬಗ್ಗೆ ಕೆಲವು ಸಾಮಾನ್ಯ ಜ್ಞಾನವನ್ನು ಹಂಚಿಕೊಳ್ಳೋಣ.

ಮೆಟಲ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಕೋಟಿಂಗ್ ಗುರಿ, ಮಿಶ್ರಲೋಹ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಕೋಟಿಂಗ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಕೋಟಿಂಗ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ಬೋರೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ಫ್ಲೋರೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ನೈಟ್ರೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್ sputtering ಗುರಿ, ಸಲ್ಫೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿ, ಟೆಲ್ಯುರೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿ, ಇತರ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಗುರಿಗಳು, ಕ್ರೋಮಿಯಂ ಡೋಪ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್ (CR SiO), ಇಂಡಿಯಮ್ ಫಾಸ್ಫೈಡ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್ (INP), ಲೀಡ್ ಆರ್ಸೆನೈಡ್ ಗುರಿ (pbas), ಇಂಡಿಯಮ್ ಆರ್ಸೆನೈಡ್ ಗುರಿ (InAs).

ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ನಿರ್ಮಾಣ ಗುರಿಗಳು ಸೇರಿವೆ:

ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿ (ಶುದ್ಧತೆ: 99.9% - 99.999%)

1. ಲೋಹದ ಗುರಿ:

ನಿಕಲ್ ಗುರಿ, Ni, ಟೈಟಾನಿಯಂ ಗುರಿ, Ti, ಸತು ಗುರಿ, Zn, ಕ್ರೋಮಿಯಂ ಗುರಿ, Cr, ಮೆಗ್ನೀಸಿಯಮ್ ಗುರಿ, Mg, ನಿಯೋಬಿಯಂ ಗುರಿ, Nb, ಟಿನ್ ಗುರಿ, Sn, ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಗುರಿ, Al, ಇಂಡಿಯಮ್ ಗುರಿ, ಇನ್, ಕಬ್ಬಿಣದ ಗುರಿ, Fe, ಜಿರ್ಕೋನಿಯಮ್ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಗುರಿ, zral, ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಗುರಿ, TiAl, ಜಿರ್ಕೋನಿಯಮ್ ಗುರಿ, Zr, ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಗುರಿ, AlSi, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಗುರಿ, Si, ತಾಮ್ರದ ಗುರಿ, Cu, ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಗುರಿ, t, a, ಜರ್ಮೇನಿಯಮ್ ಗುರಿ, Ge, ಬೆಳ್ಳಿ ಗುರಿ, Ag, ಕೋಬಾಲ್ಟ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ಕೋ, ಗೋಲ್ಡ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ಔ, ಗ್ಯಾಡೋಲಿನಿಯಮ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ಜಿಡಿ, ಲ್ಯಾಂಥನಮ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ಲಾ, ಯಟ್ರಿಯಮ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ವೈ, ಸೀರಿಯಮ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ಸಿಇ, ಟಂಗ್‌ಸ್ಟನ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ಡಬ್ಲ್ಯೂ, ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ನಿಕಲ್ ಕ್ರೋಮಿಯಂ ಟಾರ್ಗೆಟ್ NiCr, ಹ್ಯಾಫ್ನಿಯಮ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, HF, ಮಾಲಿಬ್ಡಿನಮ್ ಗುರಿ, Mo, ಕಬ್ಬಿಣದ ನಿಕಲ್ ಗುರಿ, FeNi, ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ಗುರಿ, W, ಇತ್ಯಾದಿ.

2. ಸೆರಾಮಿಕ್ ಗುರಿ

ITO ಗುರಿ, ಮೆಗ್ನೀಸಿಯಮ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಗುರಿ, ಐರನ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಗುರಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಗುರಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಗುರಿ, ಟೈಟಾನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಗುರಿ, ಕ್ರೋಮಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಗುರಿ, ಸತು ಆಕ್ಸೈಡ್ ಗುರಿ, ಸತು ಸಲ್ಫೈಡ್ ಗುರಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ ಗುರಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಗುರಿ, ಸಿರಿಯಮ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್ ಜಿರಾಕ್ಸೈಡ್ ಗುರಿ . ಗುರಿ, ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಗುರಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಗುರಿ, ಬೋರಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಗುರಿ, ಟೈಟಾನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಗುರಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಗುರಿ, ಲಿಥಿಯಂ ನಿಯೋಬೇಟ್ ಗುರಿ, ಪ್ರಸೋಡೈಮಿಯಮ್ ಟೈಟಾನೇಟ್ ಗುರಿ, ಬೇರಿಯಂ ಟೈಟಾನೇಟ್ ಗುರಿ, ಲ್ಯಾಂಥನಮ್ ಟೈಟನೇಟ್ ಗುರಿ, ನಿಕಲ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಗುರಿ, ಇತ್ಯಾದಿ.