ಬಾಷ್ಪೀಕರಣ ಲೇಪನ ಮತ್ತು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನದ ನಡುವಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳು

ನಮಗೆಲ್ಲರಿಗೂ ತಿಳಿದಿರುವಂತೆ, ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನದಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ವಿಧಾನಗಳೆಂದರೆ ನಿರ್ವಾತ ಟ್ರಾನ್ಸ್‌ಪಿರೇಶನ್ ಮತ್ತು ಅಯಾನು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್.ಟ್ರಾನ್ಸ್ಪಿರೇಷನ್ ಕೋಟಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನದ ನಡುವಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸವೇನು?ಜನರು ಅಂತಹ ಪ್ರಶ್ನೆಗಳಿವೆ.ಟ್ರಾನ್ಸ್‌ಪಿರೇಷನ್ ಕೋಟಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಕೋಟಿಂಗ್ ನಡುವಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ನಿಮ್ಮೊಂದಿಗೆ ಹಂಚಿಕೊಳ್ಳೋಣ

ನಿರ್ವಾತ ಟ್ರಾನ್ಸ್‌ಪೈರೇಶನ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಎನ್ನುವುದು 10-2Pa ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿಲ್ಲದ ನಿರ್ವಾತ ಪದವಿಯೊಂದಿಗೆ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಪ್ರತಿರೋಧ ತಾಪನ ಅಥವಾ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕಿರಣ ಮತ್ತು ಲೇಸರ್ ಶೆಲ್ಲಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ಸ್ಥಿರ ತಾಪಮಾನಕ್ಕೆ ಟ್ರಾನ್ಸ್‌ಪಿರೇಶನ್ ಆಗಲು ಡೇಟಾವನ್ನು ಬಿಸಿ ಮಾಡುವುದು, ಇದರಿಂದ ಅಣುಗಳ ಉಷ್ಣ ಕಂಪನ ಶಕ್ತಿ ಅಥವಾ ದತ್ತಾಂಶದಲ್ಲಿನ ಪರಮಾಣುಗಳು ಮೇಲ್ಮೈಯ ಬಂಧಿಸುವ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಮೀರುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಅನೇಕ ಅಣುಗಳು ಅಥವಾ ಪರಮಾಣುಗಳು ಟ್ರಾನ್ಸ್‌ಪಿರೇಷನ್ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ನೇರವಾಗಿ ಅವುಗಳನ್ನು ತಲಾಧಾರದಲ್ಲಿ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಿ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತವೆ.ಅಯಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನವು ಕ್ಯಾಥೋಡ್‌ನಂತೆ ಗುರಿಯ ಮೇಲೆ ಬಾಂಬ್ ಸ್ಫೋಟಿಸಲು ವಿದ್ಯುತ್ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಪರಿಣಾಮದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಅನಿಲ ವಿಸರ್ಜನೆಯಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಧನಾತ್ಮಕ ಅಯಾನುಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪುನರಾವರ್ತನೆಯ ಚಲನೆಯನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಗುರಿಯಲ್ಲಿರುವ ಪರಮಾಣುಗಳು ಅಥವಾ ಅಣುಗಳು ತಪ್ಪಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಲೇಪಿತ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಠೇವಣಿಯಾಗುತ್ತವೆ. ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಚಲನಚಿತ್ರ.

ನಿರ್ವಾತ ಟ್ರಾನ್ಸ್ಪಿರೇಷನ್ ಲೇಪನದ ಅತ್ಯಂತ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ವಿಧಾನವೆಂದರೆ ಪ್ರತಿರೋಧ ತಾಪನ ವಿಧಾನ.ಇದರ ಅನುಕೂಲಗಳು ತಾಪನ ಮೂಲದ ಸರಳ ರಚನೆ, ಕಡಿಮೆ ವೆಚ್ಚ ಮತ್ತು ಅನುಕೂಲಕರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ.ವಕ್ರೀಕಾರಕ ಲೋಹಗಳು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ನಿರೋಧಕ ಮಾಧ್ಯಮಗಳಿಗೆ ಇದು ಸೂಕ್ತವಲ್ಲ ಎಂಬುದು ಇದರ ಅನಾನುಕೂಲಗಳು.ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕಿರಣದ ತಾಪನ ಮತ್ತು ಲೇಸರ್ ತಾಪನವು ಪ್ರತಿರೋಧ ತಾಪನದ ಅನಾನುಕೂಲಗಳನ್ನು ನಿವಾರಿಸುತ್ತದೆ.ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕಿರಣದ ತಾಪನದಲ್ಲಿ, ಶೆಲ್ ಮಾಡಿದ ಡೇಟಾವನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಬಿಸಿಮಾಡಲು ಕೇಂದ್ರೀಕೃತ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕಿರಣವನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕಿರಣದ ಚಲನ ಶಕ್ತಿಯು ಡೇಟಾ ಟ್ರಾನ್ಸ್‌ಪಿರೇಶನ್ ಮಾಡಲು ಶಾಖ ಶಕ್ತಿಯಾಗುತ್ತದೆ.ಲೇಸರ್ ತಾಪನವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಲೇಸರ್ ಅನ್ನು ತಾಪನ ಮೂಲವಾಗಿ ಬಳಸುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಹೆಚ್ಚಿನ-ವಿದ್ಯುತ್ ಲೇಸರ್ನ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೆಚ್ಚದ ಕಾರಣ, ಇದನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಸಂಖ್ಯೆಯ ಸಂಶೋಧನಾ ಪ್ರಯೋಗಾಲಯಗಳಲ್ಲಿ ಮಾತ್ರ ಬಳಸಬಹುದು.

ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಕೌಶಲ್ಯವು ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಟ್ರಾನ್ಸ್‌ಪಿರೇಷನ್ ಕೌಶಲ್ಯಕ್ಕಿಂತ ಭಿನ್ನವಾಗಿದೆ.ಚಾರ್ಜ್ಡ್ ಕಣಗಳು ದೇಹದ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ (ಗುರಿ) ಹಿಂತಿರುಗುವ ವಿದ್ಯಮಾನವನ್ನು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಘನ ಪರಮಾಣುಗಳು ಅಥವಾ ಅಣುಗಳು ಮೇಲ್ಮೈಯಿಂದ ಹೊರಸೂಸಲ್ಪಡುತ್ತವೆ.ಹೊರಸೂಸಲ್ಪಟ್ಟ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಣಗಳು ಪರಮಾಣುಗಳಾಗಿವೆ, ಇದನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಸ್ಪಟರ್ಡ್ ಪರಮಾಣುಗಳು ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.ಶೆಲ್ಲಿಂಗ್ ಗುರಿಗಳಿಗಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಸ್ಪಟ್ಟರ್ಡ್ ಕಣಗಳು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ಗಳು, ಅಯಾನುಗಳು ಅಥವಾ ತಟಸ್ಥ ಕಣಗಳಾಗಿರಬಹುದು.ಅಯಾನುಗಳು ವಿದ್ಯುತ್ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಅಗತ್ಯವಾದ ಚಲನ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಸುಲಭವಾಗಿರುವುದರಿಂದ, ಅಯಾನುಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಶೆಲ್ಲಿಂಗ್ ಕಣಗಳಾಗಿ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಅನ್ನು ಆಧರಿಸಿದೆ, ಅಂದರೆ, ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಅಯಾನುಗಳು ಅನಿಲ ವಿಸರ್ಜನೆಯಿಂದ ಬರುತ್ತವೆ.ವಿಭಿನ್ನ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಕೌಶಲ್ಯಗಳು ವಿಭಿನ್ನ ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ.DC ಡಯೋಡ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ DC ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ;ಟ್ರಯೋಡ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಬಿಸಿ ಕ್ಯಾಥೋಡ್‌ನಿಂದ ಬೆಂಬಲಿತವಾದ ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಆಗಿದೆ;RF sputtering RF ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ;ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಎನ್ನುವುದು ವಾರ್ಷಿಕ ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರದಿಂದ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲ್ಪಡುವ ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಆಗಿದೆ.

ನಿರ್ವಾತ ಟ್ರಾನ್ಸ್ಪಿರೇಷನ್ ಲೇಪನದೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನವು ಅನೇಕ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.ಯಾವುದೇ ವಸ್ತುವನ್ನು ಚೆಲ್ಲಬಹುದಾದರೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕರಗುವ ಬಿಂದು ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಆವಿಯ ಒತ್ತಡದೊಂದಿಗೆ ಅಂಶಗಳು ಮತ್ತು ಸಂಯುಕ್ತಗಳು;ಸ್ಪಟರ್ಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಡುವಿನ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯು ಒಳ್ಳೆಯದು;ಹೆಚ್ಚಿನ ಫಿಲ್ಮ್ ಸಾಂದ್ರತೆ;ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಪುನರಾವರ್ತನೆಯು ಉತ್ತಮವಾಗಿರುತ್ತದೆ.ಅನನುಕೂಲವೆಂದರೆ ಉಪಕರಣವು ಸಂಕೀರ್ಣವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಸಾಧನಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ.

ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಟ್ರಾನ್ಸ್ಪಿರೇಶನ್ ವಿಧಾನ ಮತ್ತು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ವಿಧಾನದ ಸಂಯೋಜನೆಯು ಅಯಾನ್ ಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ಆಗಿದೆ.ಈ ವಿಧಾನದ ಅನುಕೂಲಗಳು ಫಿಲ್ಮ್ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಡುವೆ ಬಲವಾದ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಠೇವಣಿ ದರ ಮತ್ತು ಚಿತ್ರದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ.